真空的定義及單位
真空的定義及單位
當(dāng)一個(gè)容器內(nèi)空間的壓力小於一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓力(atm)時(shí)即被定義為真空(Vacuum)。因?yàn)檎婵蘸蛪毫τ嘘P(guān),因此真空度即代表真空系統(tǒng)中壓力的程度。意即較低的真空度表示較高的壓力,較高的真空度表示較低的壓力。另可用單位體積內(nèi)氣體分子密度來表示真空度;一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體分子密度為 2.5×
標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 :1pa=1N/m2
1 atm 1 1.033 14.7 29.92 760 1013 1.033.104 1.013.105 1 kgf/cm2 0.968 1 14.22 28.96 735.709 980.7 1.104 9.807.104 1 lbf/in2(psi) 6.805.10-2 7.03.10-2 1 2.036 51.725 68.95 703 6895 1 inHg 3.342.10-2 3.45.10-2 0.491 1 25.4 33.86 345 3386 1 Torr(mmHg) 1.316.10-3 1.359.10-3 1.93.10-2 3.937.10-2 1 1.333 13.592 133.3 1 mbar 9.869.10-4 1.02.10-3 1.45.10-2 2.953.10-2 0.75 1 10.197 100 1 mmAq 9.677.10-5 1.10-4 1.42.10-3 2.896.10-3 7.357.10-2 9.81.10-2 1 9.807 1 Pa 9.87.10-6 1.02.10-5 1.45.10-4 2.953.10-4 7.501.10-3 1.10-2 0.102 1
atm
kgf/cm2
lbf/in2
inHg
Torr
mbar
mmAq
Pa
真空泵浦的選用
真空泵*重要的性能規(guī)格為終極壓力( Ultimate Pressure) 以及排氣速度( Pumping Speed) 。終極壓力指真空泵可抽到的*低壓力或稱*高真空( Max. Vacuum); 排氣速度則是指單位時(shí)間內(nèi)泵浦進(jìn)氣口的容積流量大小,通常以
真空泵浦依真空度來區(qū)分可分為低真空泵浦(1000~1 mba)、中真空泵浦((1—
真空泵浦依排氣方式可分為排氣式及儲氣式泵浦。其中排氣式泵浦因操作原理不同又可區(qū)分為正排氣型泵浦(Positive Displacement Pump) 以及氣體分子動力式真空泵浦(Kinetic Pump)。由於不同的氣體在不同的壓力下會表現(xiàn)不同的物理特性,因此真空泵浦在不同壓力下必須採用不同的排氣方法以獲得*佳的工作效率。所以,沒有任何一種真空泵浦的機(jī)械結(jié)構(gòu)可勝任從大氣壓力到高真空的操作範(fàn)圍。我們在選用真空泵浦時(shí)必須依真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的工作壓力範(fàn)圍、用途來做*適當(dāng)?shù)倪x擇。
正排氣型真空泵浦由於發(fā)展*早,因此在產(chǎn)業(yè)上應(yīng)用*廣泛,應(yīng)用技術(shù)也*成熟。在性能上,正排氣型的真空泵浦,其終極壓力及排氣速度可依據(jù)國際規(guī)範(fàn)ISO1607 標(biāo)準(zhǔn)來作測定。本公司的真空泵浦屬於正排氣型泵浦,以下對正排氣型真空泵浦作一簡單介紹:
正排氣型泵浦
正排氣型泵浦屬於中低真空度的泵浦,其抽氣工作壓力範(fàn)圍可從一大氣壓到
油(液)封式真空泵浦」
油(液)封式真空泵依作動方式不同又可分為旋轉(zhuǎn)式泵浦(Rotary Pump)及往復(fù)式泵浦(Reciprocating Pump)兩種。旋轉(zhuǎn)式泵浦係藉泵浦機(jī)殼內(nèi)轉(zhuǎn)子(Rotor) 和靜子(Stator)連續(xù)接觸進(jìn)行進(jìn)氣、壓縮及排氣行程。常見的泵浦有液(水)封式真空泵( Liquid-ring Vacuum Pump)、油迴轉(zhuǎn)葉片型真空泵( Oil-sealed Rotary-vane Vacuum Pump)、油迴轉(zhuǎn)滑動葉片型真空泵( Oil-sealed Sliding-vane Vacuum Pump)以及油迴轉(zhuǎn)柱塞型真空泵(Oil-sealed Rotary-plunger Vacuum Pump)等。往復(fù)式泵浦以馬達(dá)驅(qū)動主動桿之旋轉(zhuǎn),經(jīng)由連桿(Coupler)帶動活塞在汽缸中做往復(fù)運(yùn)動,如本公司的VS、VSW型泵浦。(參考下圖1、圖2)除液封式真空泵以製程液體作為封液外,其他幾種真空泵浦都必須搭配真空油或潤滑油來從事潤滑、排熱、密封以及防蝕作用,因此油品的選用也關(guān)係到真空泵的性能表現(xiàn)。如本公司RV、SR、SRD (油迴轉(zhuǎn)葉片型真空泵( Oil-sealed Rotary-vane Vacuum Pump)、VS、VSW(往復(fù)式)、SW、SWV(液封式) ,(參考圖3、圖4、圖5、圖6 )
「乾式真空泵浦」
乾式真空泵依機(jī)械結(jié)構(gòu)不同可分為魯式(Roots)、爪式(Claw)、螺旋式(Screw)、渦卷式(Scroll)以及薄膜式(Diaphragm)幾種。其中魯式泵浦在真空系統(tǒng)中廣泛用作助力泵浦(Booster Pump),可適度提高真空系統(tǒng)的抽氣效率。近年來由於半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的興起,半導(dǎo)體製程中真空系統(tǒng)的潔淨(jìng)度受到很大的重視,相較於油(液)封式真空泵在製程中有可能因油水氣回流造成污染問題,乾式真空泵在泵浦進(jìn)氣、壓縮、排氣行程中並無液體潤滑或密封,因此在維持真空系統(tǒng)潔淨(jìng)度上比油(液)封式真空泵的表現(xiàn)要好很多,而在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)等被廣泛應(yīng)用,其中螺旋式真空泵本身在維修便利性及耗能表現(xiàn)上的優(yōu)勢,近來已漸成為市場的主流。